基于LTCC為基礎(chǔ)的多層結(jié)構(gòu)設(shè)計可有效減小器件體積，是實現(xiàn)元器件向小型化、集成化、高可靠性和低成本發(fā)展的重要途徑。LTCC基板的制備核心技術(shù)是高質(zhì)量基片的坯體成型，目前的成型方法主要有流延、干壓、軋膜等，其中流延法生產(chǎn)效率高，自動化水平高，成型坯體性能的重復(fù)性和尺寸的一致性水平高，是理想的LTCC基板的成型技術(shù)。

一、LTCC基片流延成型工藝流程

二、LTCC基片的流延漿料的制備

1、流延漿料的制備要求

流延漿料是個比較復(fù)雜的系統(tǒng)，漿料一般由粉料、溶劑、分散劑、粘結(jié)劑、增塑劑和功能助劑組成。一種合適的流延漿料必須滿足以下幾個條件：

（1）干燥過程中沒有缺陷（如裂紋等）；

（2）流延片干燥后要有一定的強度，如可切割、鉆孔等；

（3）流延片要有非常均勻的微觀結(jié)構(gòu)和光滑平整的表面；

（4）流延片中的有機物可以通過熱分解后完全排除；

（5）流延片要有好的疊層性能，可用于疊層工藝；

（6）流延片要有非常好的燒結(jié)性能等。

2、流延漿料的影響因素

粉體的選擇必須考慮到以下技術(shù)參數(shù)：

在溶劑的選擇上首先要考慮如下幾個因素：

（1）必須能夠溶解分散劑、粘結(jié)劑、增塑劑和其他添加劑成份；

（2）在漿料中具有一定的化學(xué)穩(wěn)定性，能夠充分分散粉料而不與粉料發(fā)生反應(yīng)；

（3）能夠提供漿料系統(tǒng)合適的粘度；

（4）易于揮發(fā)與燒除；

（5）保證素坯無缺陷的固化；

（6）使用安全衛(wèi)生和對環(huán)境污染少且價格便宜。

選擇粘結(jié)劑應(yīng)考慮的因素有：

（1）素胚膜的厚度；

（2）所選溶劑類型及匹配性，有利于溶劑揮發(fā)和不產(chǎn)生氣泡；

（3）應(yīng)易燒除，不留有殘余物；

（4）能起到穩(wěn)定料漿和抑制顆粒沉降的作用；

（5）要有較低的塑性轉(zhuǎn)變溫度，以確保在室溫下不發(fā)生凝結(jié)；

（6）考慮所用基板材料的性質(zhì)，要不相粘結(jié)和易于分離。

陶瓷生帶用增塑劑需要的性能為：

（1）與樹脂粘結(jié)劑具有良好的相容性；

（2）高的沸點和低的蒸汽壓；

（3）高的可塑效率；

（4）熱、光、化學(xué)的穩(wěn)定；

（5）低溫下良好的彎曲性；

三、LTCC基片流延工藝的控制

1、生瓷帶厚度控制

2、干燥工藝優(yōu)化

3、脫脂工藝優(yōu)化

脫脂是通過加熱時有機添加劑產(chǎn)生分解，分解產(chǎn)物擴散至表面揮發(fā)，再從表面揮發(fā)，整個過程一般在高溫度發(fā)生。因此，環(huán)境氣氛是重要因素。陶瓷粉體的特點決定了氧化或還原氣氛的選擇 ：

• 氧化物陶瓷基片：氧氣氛圍，但必須采取一些預(yù)防措施以避免難以控制 的放熱反應(yīng)或甚至是有機排出物的燃燒。尤其對于大的不均勻的組分如多層片 ，這將導(dǎo)致局部應(yīng)力并使部件氧化。氧氣的含量必須限制在足夠低的濃度范圍內(nèi)以防止加熱連鎖反應(yīng)和有時不得不采用還原條件。
• 非氧化物陶瓷基片：非氧化氛圍，但是必須避免由于粘結(jié)劑分解而產(chǎn)生殘余碳 。