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氮化硅陶瓷基板金屬化
氮化硅陶瓷基板機械性能非常好,硬度強,耐磨損,導熱系數在85w~90w,在一些需要較強硬度和導熱性的產品領域被備受歡迎。比如汽車減振器的載板、交通軌道,IGTB載板、第三代半導體等。既能作為載板起到散熱很支持的作用,又能實現線路層互連,起到良好的電氣性能作用,那么就需要在氮化硅陶瓷基板做金屬化工藝。
一,什么是氮化硅陶瓷基板金屬化
氮化硅陶瓷基板金屬化,是在陶瓷基表面覆銅、或者做其他金屬。目前最常見的就是覆銅。氮化硅陶瓷基板金屬化后,通過線路、金屬孔等可以實現層級互連作用。
二,氮化硅陶瓷基板金屬化技術-AMB工藝
氮化硅陶瓷基板金屬化技術多采用AMB工藝,AMB技術是指,在800℃左右的高溫下,含有活性元素Ti、Zr的AgCu焊料在陶瓷和金屬的界面潤濕并反應,從而實現陶瓷與金屬異質鍵合的一種工藝技術。AMB陶瓷基板,一般是這樣制作的:首先通過絲網印刷法在陶瓷板材的表面涂覆上活性金屬焊料,再與無氧銅層裝夾,在真空釬焊爐中進行高溫焊接,然后刻蝕出圖形制作電路,最后再對表面圖形進行化學鍍。
三,氮化硅陶瓷基板AMB工藝與其他工藝的區(qū)別
相比于傳統(tǒng)的DBC基板,采用AMB工藝制備的陶瓷基板,不僅具有更高的熱導率、更好的銅層結合力,而且還有熱阻更小、可靠性更高等優(yōu)勢。AMB氮化硅陶瓷覆銅基板,線路銅層較厚,導熱率較高、熱循環(huán)好、適合大功率和大溫變的器件產品。
以上是小編闡述的關于,氮化硅陶瓷基板金屬化工藝以及AMB工藝的特點,氮化硅陶瓷基板金屬化后電氣性能更好。AMB工藝不僅適用在氮化硅陶瓷基、還適應于氮化鋁陶瓷基板以及增韌氧化鋁陶瓷基板覆銅,銅層結合力都非常好。更多氮化硅陶瓷基板金屬化相關可以咨詢金瑞欣特種電路。
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